一、硅烷（SiH4）的化學(xué)特性

  1、硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。
例如：半導(dǎo)體行業(yè)中，硅烷（SiH4）是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

  2.硅烷(SiH4)的利用可以實現(xiàn)高純度超精細(xì)(可達(dá)原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學(xué)反應(yīng)，從而將各種含硅材料制成復(fù)雜精細(xì)的結(jié)構(gòu)滿足各種重要這也正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。
二、硅烷特氣柜設(shè)計要求
  1、因為硅烷(SiH4)的危險性，所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置，而且應(yīng)該設(shè)置單獨的惰性氣體鋼瓶(比如高壓N2)進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。
  2、硅烷(SiH4)與空氣會自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等當(dāng)發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大的事發(fā)生。
  3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該獨立于其它氣體排氣系統(tǒng)。
  4、如果排氣的硅烷(SiH4)濃度較高時，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。
  5、由干存在通過系統(tǒng)的周定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置
  6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/S。

三、硅烷管道要求

  1、硅烷特氣管道安裝一般優(yōu)先選用管道系統(tǒng)是316或316L無縫EP級不銹鋼，其內(nèi)外表面極其光亮，且具有焊接結(jié)構(gòu)，額定壓力為最大運轉(zhuǎn)壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到最 大額定壓力之間用氨檢漏，理想的系統(tǒng)應(yīng)該全部是焊接的。
  2、潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。
  3、硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開關(guān)，以便在流線型破梨的情況下切斷氣流。這個切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。
  4、在硅烷設(shè)施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標(biāo)簽，說明它們的用途管道上的標(biāo)簽應(yīng)當(dāng)說明氣流方向和氣體類型。